北森瓦版 - Northwood Blog (Author : 北森四葉. Since July 10, 2006.)
GlobalFoundries And IBM Join Force to Develop 22nm Node(Expreview.com)
IBM, Globalfoundries Detail Materials, Technologies for 22nm Chips and Beyond.(X-bit labs)

京都で開催されているVLSI technologyシンポジウム2009で、Globalfoundriesは改良版High-K / Metal gateを採用したトランジスタを中心とする先進技術について述べた。

IBMとの提携により、GlobalfoundriesはHigh-K / Metal gateにEOT(Eqivalent oxide thickness)を加えた技術をデモンストレーションした。この技術は22nmとそれ以降のプロセスに必要になってくるもので、リーク電流の減少とスレッショールド電圧の低下を実現する。

現在のx86 CPUのプロセスは45nmが全盛期で、次に32nmが1~2年後に控えている状態です。32nmの次が22nmで、その開発に関する話が出てくるようになってきています。
では22nmの先はどうなるのでしょうか? 今までどおりの進化を続けるならば16nmとなるところでしょうが・・・。