北森瓦版 - Northwood Blog (Author : 北森四葉. Since July 10, 2006.)
CPU manufacturing with EUV: Intel eliminates most 10nm problems for 7nm(ComputerBase.de)

Intelは現在10nmプロセスの製品で壁に突き当たっており、イールドの問題で小さくそして一部に欠損を抱えた製品(=iGPUが無効化されているCore i3 8121Uを指しているものと思われる)のみしか供給できないという事態に陥っている。しかし7nmプロセスではEUV lithographyの導入により、10nmプロセスで起きている問題をほぼ取り除く。

2018年の決算報告において、Intelの製造状況についていくつかの質問が寄せられた。それに答える形でIntelは10nmプロセスのCPUの供給は2018年中は少量にとどまり、本格供給は2019年になることを明らかにした。
 


10nmプロセスで起きている問題についてはここが詳しい。

Intel outlines its struggles with 10-nm chip production(The Tech report)

そもそも14nm→10nmは今まで以上のエリアスケーリングを行おうとしていることを念頭に置く必要がある。Intelの資料によると45nmから32nm、32nmから22nmではいずれも62%に縮小した。22nmから14nmへの移行においてもやや遅延が発生したが、その代わり全世代よりも高い縮小率を実現し、46%に減少している。14nmから10nmはさらに強化されて43%に減少することを見込んでいる。

10nmで使用されている光源は従来用いられてきた193nm ArFエキシマレーザーで、EUVの導入は10nm世代では見送られている(元々はより早い時期の予定だったので致し方なしか・・・)。10nmではSelf-aligned quad patterningを用いるとIntelは説明している。ところが、実際のところは5~6回のmulti-patterningが必要であることが先日の決算報告の場で明かされたようである。

multi-patterningの回数が増えるほどイールドへの影響が大きくなり、10nmではそれこそ「つらたにえんのむりちゃづけ」な状態のようである(それでも何とかしそうなのがIntelなのであるが)。



本題の7nmである。

7nm世代では10nm世代の時のようなスケーリングの記録更新は行わない。しかしその一方で、7nm世代ではEUVが用いられることが明らかにされた。過去数年間においては、Intelは7nmプロセスについては情報公開を慎重にしており、かつては従来の露光系を用いるとされたこともあった。誰も20年の開発・研究の後に、EUV lithographyが本当に使えるものになるかどうかは分からなかったからだ。しかし、EUVはいよいよ実用にこぎ着けることになった。ただし、どこまで適用されるかはまだ未知数である。

IntelのCEOであるBrian Krzanich氏は次のように述べている。

7nmプロセスは新たなリソグラフィー機器に転換する最初の世代となる。これにより露光における新たな可能性の扉が開かれ、より小さく、より簡単に行うことができるようになっている。
10nm(の問題)が7nmにキャリーオーバーされることはない。Intelは7nmプロセスの進捗を常にモニターしており、7nmプロセスについては非常に明るい見通しであると判断している。


状況的にIntelも7nmでEUV lithographyを導入するのではないかという見方は多かったが、Intel側から明言されたのは記憶になく、そもそもIntelの7nmの情報そのものが非常に限られていた。ひょっとしたら過去に7nmでEUVを導入するという話が出ていたかもしれないが、今回Intelが7nmでEUV導入に踏み切ることが確認できたのは非常に興味深い事柄である。

割とIntelは「覚えてろ・・・地べたを這いドロ水すすってでももどってきてやる・・・」を地で行く気があるので、10nmが散々だったとしても、次の7nmで嘘のように良好なプロセスを用意してくる、というのはあり得る展開である。かつての90nm(“Prescott”)と65nm(“Presler/CedarMill”+“Yonah”→“Conroe/Merom”)がそうであっただろうか(さらにその次の45nmにはHigh K, Metal Gateという大きなトピックがあった)。

ただ、7nmはまだいつ頃になるかはっきりしないため、まずは直近の2019年の10nm製品(=“Ice Lake”)がどれほどのものに仕上がるかを見守りたい。


コメント
この記事へのコメント
159990 
Sandyおじさんはもうなななの待てません
icelake行きます
2018/05/19(Sat) 02:23 | URL | LGA774 #-[ 編集]
159991 
10nmのイールド改善に関しては「その手段が生み出されて後は実装と実証の為に少し時間が欲しい」って事で、その為にWhiskeyLakeを新たにブチ上げたみたいなんで、Ryzenショックの影響でケツを叩かれまくってる今のIntelなら2019年を本気で10nmの年にすると期待しておきたい
2018/05/19(Sat) 02:49 | URL | LGA774 #-[ 編集]
159996 
10nmはシュリンクをやり過ぎちゃったと思う。ArF液浸の限界が迫ってるタイミングでHyper Scalingはまずかった。
EUVは装置メーカーにとっても初めての大転換(*)だから、最初は冒険しない方が良い。
装置さえ無事に立ち上がればその後は早いと思うので、ArF液浸で7nmやるより結果的に早いという読みなのかな。
(*)昔からずっと使ってきた透過光学系(レンズ)から反射光学系(ミラー)に変わるそうだ。
2018/05/19(Sat) 10:59 | URL | LGA774 #SFo5/nok[ 編集]
159999 
不甲斐ないね
2018/05/19(Sat) 11:34 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160000 
7nmの次が真の地獄で、もはやもう配線からトランジスタからなんやらが全て量子効果によって今までの勘の通用しない世界になっていくんだよな…
(C60フラーレンが1nm)
2018/05/19(Sat) 12:13 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160002 
Ivyおじさんはまだなななの迄待ちます
Windouws10がアップデートでまたやらかしたらしいので
Geforceもなななの迄待ちます
2020年までトラブルなければ
2018/05/19(Sat) 19:21 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160003 
7nまでは行けたとして、そこから先は本当に技術的な限界が見えてきた感があるね
プロセスが一切伸びなくなったら買い替え不要の時代が来るんだろうか?
2018/05/19(Sat) 20:28 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160005 
ユーザーにしてみれば7nmでも10nmでも14nmでもぶっちゃけ
安くて性能が良ければ何でもいいんだけどね

もう中継点の10nmはスキップしてゴールの7nmに
リソース全部突っ込んだほうが良いような気がする
どうせ7nmの先に進むには3年や5年じゃ無理だろ
7nmをたっぷり成熟させられるよ
2018/05/19(Sat) 21:38 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160008 
なななのなななのなななの
2018/05/20(Sun) 00:42 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160009 
7nmEUVの次が出てくるのはかなり時間かかりそうだから
ここで高級品買っちゃうのもいいかもしれないね
2018/05/20(Sun) 01:46 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160010 
INTELのことだから「開発に時間かかってます…」とか言いながら、実は「まだ開発費の元とってないし…」てな理由でワザと遅らせてるのかと思ってました。。
2018/05/20(Sun) 01:50 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160012 
段々、壁が近づいてきて四苦八苦しているのが分かるね。AMDも「順調」と言ってるモノの分かったもんじゃないなあ。
2018/05/20(Sun) 09:14 | URL | LGA774 #G1Z3bRKw[ 編集]
160013 
TSMCやGLOBALFOUNDRIESなどのファウンダーも、7nm世代では、EUVでない場合、思ったほどの成果はでないのかもしれないなぁ…。(Zen2世代とかNVIDIA&AMDのGPU)

だから159996さんの「ArF液浸で7nmやるより(EUVでやった方が)結果的に早い」は正しいと思う。
もっともEUVもまだうまく転ぶかは分からないけど
2018/05/20(Sun) 10:48 | URL | LGA774 #5ZRGXFpk[ 編集]
160021 
5nm以降は性能的にも商業的にも微細化しても意味があるのか分からんって見解まで出てるからね
先が見通せないのは確かだ
2018/05/22(Tue) 08:30 | URL | LGA774 #EBUSheBA[ 編集]
160022 
7nmとは銅原子60個とかのサイズなわけで、根本的に原子一個とかの挙動を読めないとトランジスタが作れなくなってくるのではないだろうか
2018/05/22(Tue) 09:37 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160024 です
なななのです
2018/05/22(Tue) 16:52 | URL | ななし #-[ 編集]
160031 
とりあえず、エラッたはなくしてくれ。
話はそれからだ
2018/05/23(Wed) 12:01 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160032 
そもそも他社の7nmがintelの10nmぐらいの微細化。マーケティングの都合で数字のごまかしが常態化してるだけ。
2018/05/23(Wed) 13:59 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160058 
ITRSの指針に沿った伝統的な技術ノードなんて
とっくに破綻してるからどうでもいいよ

はっきりしてることは、Intelの10nmは歩留まり最悪で
ダイサイズを確保できないからトランジスタ数を全然増やせず、
おまけにトランジスタの特性も14nm++に劣るゴミだということだ
2018/05/27(Sun) 14:46 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160063 
intelのTDP算出方法もごまかしっぽい感はあるしね…
2018/05/28(Mon) 15:43 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160234 
インテルの10nm=他社の7nmなのは周知の事実として
次期iPhoneのA12を7nm作ってるといわれてるTMSCが「うちは順調だよ」って言ってるのはどうよ
9月に出てくるA12が本当に7nmならあのインテルが抜かされたじゃん、大丈夫か?
さらに、サムスンの作るスナドラ855(2018年内出荷予定)なんか本当かどうか知らないけどEUVで作るって言ってるけど
2018/06/10(Sun) 21:11 | URL | LGA774 #-[ 編集]
160235 
インテルの10nm=他社の7nmなのは周知の事実として
次期iPhoneのA12を7nm作ってるといわれてるTMSCが「うちは順調だよ」って言ってるのはどうよ
9月に出てくるA12が本当に7nmならあのインテルが抜かされたじゃん、大丈夫か?
さらに、サムスンの作るスナドラ855(2018年内出荷予定)なんか本当かどうか知らないけどEUVで作るって言ってるけど
2018/06/10(Sun) 21:12 | URL | LGA774 #-[ 編集]
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